翻开浦东半导体产业地图，可谓是群“芯”闪耀。上海华虹、中芯国际、紫光展锐、上海微电子、中微半导体、盛美半导体……一大批中国半导体产业链上的明星企业，早在21世纪初，就陆续来到浦东落地生根，勾画出一幅浦东芯版图，也让浦东成为中国半导体的产业重镇。

然而二十年弹指一挥间，回首这些半导体企业的发展历程，无一不是历经淬炼，才终成半导体细分领域的龙头企业。诞生于2005年的国内半导体清洗设备龙头企业 - 盛美半导体便是其中一家。创始人王晖博士早在1998年，就在美国硅谷成立了ACM Research, Inc.，从事半导体专业设备研发工作。“半导体设备要想做一家公司，至少需要卧薪尝胆10年以上。”王晖说道。

01清华园走出的行业领军人物

清华大学，素来被外界称为“支撑了中国半导体产业的半壁江山”。王晖的大学时光，正是在这里度过。

1978年，改革开放恢复高考的第二年，王晖以贵阳四中第一的成绩考入清华大学精密仪器系。清华园的5年学习积淀，为他之后的工作打下了坚实的基础。“我在清华读书的时候，前三年主要学习数学、物理、化学等基础学科，然后第四年上专业课，第五年进行毕业设计，这让我们把技术理论基础打得很实。”

除了注重基础教育外，清华还很强调实干。在王晖的印象中，那时候他们还进行了金工实习，需要亲自动手在机床上加工自己设计的零件，将课堂上所学的技术理论运用到实际工作中，“从这点来看，清华给我们带来的是全套的教育。”如今虽然离开清华园已经很多年，但实事求是的学习态度，严谨务实的精神一直根植于王晖心中。

02与半导体设备打起交道

1984年，王晖凭借优异的成绩获得了清华大学代招的教育部公派留学日本的指标，当时清华大学一共有4个名额。王晖回忆，最初他报名的是日本东京大学精密工学科工业机器人专业，但原定跟随的教授即将退休，所以就推荐他到日本大阪大学。

“日本大阪大学同为七个帝国大学之一，且以精密加工研究见长，它当时主要搞得就是从纳米级的精密加工到半导体设备研发，所以里面几个教授做的课题，都和半导体设备及工艺相关，我就选择了这一方向。”在导师森勇藏教授的指导下，王晖开始真正接触半导体设备和工艺。硕士时期，他做了化学机械抛光（CMP）的研究，博士期间他主要研究离子注入及表面的改质。

1990年，王晖到美国辛辛那提大学电机系的纳米实验室施特克尔教授名下，进行了一年多的博士后研究。之后，他又加入两家公司，从事半导体设备相关工作。直到1998年，随着IBM在纽约宣布，生产了世界上第一个基于铜导体的微处理器，让王晖有了初步的创业启蒙。

“这是一个颠覆性的技术，意味着半导体制程工艺由铝互连进入铜互连时代。”王晖认为，当时在美国，半导体设备创业已经过了最佳时期，因为像LAM、AMAT等美国半导体设备公司都成立了很长时间，基本形成寡头瓜分世界市场的格局。“而我在大阪大学期间，学习了很多精密镀铜方面的知识，就觉得可以对镀铜进行一次技术延伸，因此发明了世界先进的局部电镀铜技术，还拿到了专利，为创业开辟出一条新道路。”王晖表示。

03一场研讨会改变了人生轨迹

1998年，王晖在美国硅谷成立了ACM Research,Inc.。虽然有好的技术概念，让他看到了创业前景，但创业并不是拉开序幕便能顺利演绎直至终点。

王晖坦言，当时的自己并不懂创业，就先去找了10万美金的天使投资。有意思的是，天使投资人在答应投资时，希望他也能出一些钱。经过协商，最终双方各出7万美金和3万美金。

10万美金到账后，王晖便开始进行局部电镀铜技术的研究。随着研发的深入，公司陆续获得投资机构的青睐，先后完成了1400万美元融资。

但是，由于这项至今领先世界的技术在当时太过超前，王晖行至一半，只能转换技术方向，做起了以无应力铜抛光技术为代表的电抛光技术，第一台交付给LSI Logic，第二台交付给英特尔。

和电镀铜一样，这项技术在英特尔应用时，对方给出的反馈是，技术可以用但太超前了。“那时候，有很多半导体设备公司来找我们，希望能买下ACM Research,Inc.，但我和团队商讨之后，觉得就这样被收购有些不甘心。”

江上舟出现了，王晖毅然放弃被大公司收购的机会，决定回国创业，希望用自己的毕生所学，为上海的半导体设备产业发展贡献自己的力量。

04回到上海浦东开启新征程

2005年，盛美半导体作为上海市科教兴市重大专项重点引进的企业，正式落户上海。说起回到上海二次创业，王晖说非常感谢江上舟，他是一个既懂半导体技术也对留学生的需求都了解的人，能把创业团队的想法、诉求和上海未来想做的事情串联起来。

“就像我们在申请科教兴市项目时，上海科创投投资了我们4000万，在当时看来这一决策是非常艰难的。但因为有江上舟跟上海科创投的不断沟通，以及他对海外团队的调查、信任，才促成了这笔投资。”王晖从美国带回了6人，同时ACM Research,Inc.投入了1000万资金并以全部核心产品及技术作为技术出资，成立了盛美半导体合资公司，在上海开启了国产半导体湿法设备的二次创业新征程。后来，浦东科创、张江科投也给盛美投了4000万资金。

如今的盛美半导体已然成长为国内半导体清洗设备龙头企业，2017年，盛美半导体在纳斯达克上市2021年11月，后又登陆科创板IPO。

05浦东应该做成中国IP保护的试点

从2006年落户浦东，15年来，盛美半导体一直专注于单片晶圆清洗设备、电镀铜设备、先进封装湿法设备研发及生产，解决工业界清洗的难题。

凭借独创性技术和深厚的技术积累，盛美半导体站到了清洗设备行业的技术制高点之上。尤其是SAPS/TEBO兆声波清洗技术均为全球首创，而盛美独创的Tahoe单片槽式组合清洗技术则可大幅减少硫酸使用量，降低客户生产成本。“这三项清洗技术还真有可能实现全世界只能买我们的，因为IP在我们手上。”王晖表示。

“我们希望给全球供应链提供中国的方案，为全球半导体产业发展做出贡献。”在过去十几年里，王晖带领着团队专注原始及差异化创新，希望凭借技术的不断创新来实现这一愿景。

回顾创业的十几年历程，王晖表示，半导体是一个长周期、高投入的产业，虽然公司前期有8000万资金，但对半导体设备企业而言，远远不够。“还好科技部出台了国家重大专项政策支持，在抛铜和镀铜设备上给了我们相当的资助。”回顾落户浦东的这些年，王晖博士坦言，确实享受到了不少政策红利。

王晖同时也指出，要想真正和全球半导体融合在一起，中国一定要健全完善IP保护机制，这样中国的高科技制造企业才能走远、走长、走强。

对于未来如何建立IP保护系统，王晖对自己深耕的浦东寄予厚望。他建议，浦东作为中国集成电路产业的创新高地，未来可以率先成为中国IP保护试点地区，“浦东已经有了创业的良好氛围，如果再进一步加强尊重及保护IP，浦东未来一定能成为一个全世界的高科技创业乐园。”